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六氟化硫是一种窒息剂，在高浓度下会呼吸困难、皮肤和黏膜变蓝、全身痉挛。吸入80%六氟化硫+20%的氧气的混合气体几分钟后，人体四肢会出现麻木，甚至窒息死1亡。

安装SF6高压设备的室内空间一般都较密闭，一旦发生SF6气体泄漏，由于空气流通极其缓慢，毒性分解物在室内沉积，不易排出，从而对进入SF6开关室的工作人员产生极大的危险，而且，由于SF6气体的比重较氧气大。

SF6断路器和GIS下的SF6气体泄漏条款中明确规定：目前,SF6检漏仪的灵敏度已经较高,可以满足年泄漏率不大于0.5%的要求,且原用的包扎法测量很不准确,现场实施困难,帮标准中增加”可采用灵敏度不低于1×10-6(体积比)的检漏仪检测各密封面无泄漏。